主要技術參數:
( 敬請注意:因超聲掃描技術日新月異,以下所列設備最的參數規格僅供參考,并非最新;如您需要設備最新的技術規格表或需要我們定制提供某些硬件配置或軟件功能,請您聯系對應區域的銷售人員)
一??機械部分:
1. X/Y 兩軸均為超高速、線性馬達驅動系統, X / Y 軸內置磁力機構;
2. 配有防震系統與慣性平衡機構,隔絕在高速掃描過程中振動影響,確保圖像不會因快速掃描而失真;
3. Z 軸行程大于100mm
4. Z軸自動對焦,不僅可以自動對焦到樣品表面,而且同時還可對樣品內部任意界面自動對焦; 逐層自動對焦可設定步距,Z-軸探頭按步距從樣品底部開始向上逐層掃描;
5.?雙探頭可同時掃描,每個探頭掃描范圍:最小0.20 mm ?× 0.20 mm?;最大?> 320 mm × 320 mm;可自定義掃描區域,可任意輸入或框選掃描面積(正方形,長方形,矩形);同時還能自定義序列掃描,跳過沒有樣品的空白位置;可自動尋找被測樣品的中心位置和樣品邊緣尺寸,自動設定掃描范圍;
6. 最大掃描速率:1,500 mm/s
7. 重復精度:+/- 0.1μm
8. 標準工作水槽尺寸:670 *600 * 70mm 或670 * 600 * 150mm 或定制加長工作水槽,配置工字形樣品臺
二??電子部分:
1. DPR 500 超聲波接收和發射器頻率帶寬:500MHz
2. ADC卡采樣頻率:1.25G/秒 ( 2G? ?5G 可選配)
3. 前置放大器:L2,H2,H3(選配)
?支持換能器(探頭)范圍:?1MHz -400Mz? 或按產品需求,定制提供探頭頻率和焦距
德國 PVA Hibert Filter- 外置濾波器(軟件開關控制,用于110MHz 以上延遲性探頭使用)
2.??各種樣品吸盤、夾具定制、半自動化設備升級
3. 專業圖像處理與計算軟件(空洞率計算和顆粒度分析,不僅適用于超聲波掃描顯微鏡,同時可用于電鏡、光學顯微鏡、?共聚焦顯微鏡、?? X-Ray 等眾多顯微檢測設備)
?圖為左右排列雙探頭,每個探頭各掃描1個6' Wafer
?
?雙探頭掃描系統(雙探頭可左右排列或前后排列),成倍提高檢測效率
軟件部分:?最新Winsam 8?超聲掃描成像軟件,部分功能介紹:
1. ?主要掃描模式包括:A掃描(點掃描)、B掃描、C掃描、多層C掃描、在不同的Z高度進行連續的C掃描、多重門限掃描、透射掃描、托盤掃描、、順序掃描、高清晰掃描、表面跟蹤掃描、實體掃描、分頻掃描、覆蓋掃描等;透射掃描模式選件:Through Scan 透射掃描固定單元及接收探頭;
2. 表面穩定功能:可消除或減弱樣品表面刻字,激光打標等對樣品內部超聲波信號所帶來的影響;
3. 圖像輸出格式:tiff, bmp, jpeg, png 等;? tiff格式能一鍵存儲保存所有的掃描參數,可在下一次掃描時調用;
4.定量測量功能:X -Y 長度測量、厚度與距離測量、缺陷百分比計算:可根據樣品的實際輪廓(圓形,矩形,不規則形)進行缺陷面積百分比統計分析,樣品掃描后可提供缺陷尺寸列表并輸出報告,點擊列表中任一行可顯示該缺陷在掃描圖像上的X/Y 區域,便于進一步分析和定位缺陷等;
5. 圖像著色功能:根據相位翻轉自動著色;根據灰度等級手動著色;根據渡越時間手動著色,根據厚度變化手動著色(已知材料的阻抗值)
6. ?報告生成:掃描后生成掃描分析報告,報告中包含:最終掃描圖片、各種掃描參數設置、樣品的A掃描波形圖等;
7.軟件可顯示探頭在水槽中的X/Y/Z三維坐標和當前所設定的掃描范圍;
8.用戶可自主選擇XY軸移動方向、各種探頭回位方式、以何種方式調用之前掃描保存的圖片來獲得掃描參數等;
9. 射頻增益窗口:-22dB -50dB ,高級菜單設置
10. 圖像分辨率:最高可支持42000 * 42000 像素??
專業工業控制計算機系統基本配置:
基本配置:CPU 3.5 GHz, Intel 八核處理器,32GB 內存,1T硬盤,DVD-RW刻錄光驅,高速圖像卡,Windows 10操作系統,USB及網絡接口,1臺或 2臺 27' LCD 液晶顯示器或2臺22寸液晶顯示器, 配置防靜電操作臺